配線形成装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：青稜特許業務法人 , ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-139800
公開番号（公開出願番号）：特開2015-015292
出願日： 2013年07月03日
公開日（公表日）： 2015年01月22日
要約：

【課題】ノズルから配線材料を含む塗布液を吐出して、基板上に過不足無く配線パターンを形成することができる配線形成装置を提供する。【解決手段】基板との相対移動方向と交差する方向に沿って複数の吐出口27が配列されているノズル1を用い、各吐出口27からの電極材料を一斉に吐出することによって、ノズル1と基板との間の1回の相対移動で、基板面に相対移動方向に沿って延びる多数本の電極を一斉に形成する配線形成装置において、ノズル1内部に各吐出口27の吐出を個別に制御するためのピストン28及びピストン制御機構を設ける。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板が載置される基板載置台と、該基板載置台に載置された基板の基板面に対して配線材料を含む塗布液を吐出する塗布ノズルと、該塗布ノズルと前記基板載置台のいずれか一方を他方に対して相対移動させる相対移動機構を備え、前記塗布ノズルは、前記相対移動機構による相対移動方向と交差する方向に沿って配列された複数の吐出口と、各吐出口より塗布液の吐出を個別に制御するために各吐出口対応に設けられた複数のピストンと、各ピストンの駆動を個別制御するピストン制御機構とを有し、前記各ピストンは、前記基板載置台に載置された基板が、前記相対移動機構による相対移動によって前記塗布ノズルの下方を通過する動作に同期して、所望の配線パターンに合わせて前記ピストン制御機構によって個別に駆動制御されることを特徴とする配線形成装置。

IPC (3件)：

H01L 31/04 , B05C 5/00 , B05C 11/10

FI (3件)：

H01L31/04 H , B05C5/00 101 , B05C11/10

Fターム (16件)：

4F041AA06 , 4F041AB01 , 4F041BA04 , 4F041BA13 , 4F041BA34 , 4F041BA59 , 4F042AA07 , 4F042BA08 , 4F042CB07 , 4F042CC08 , 5F151AA02 , 5F151AA03 , 5F151BA11 , 5F151CB13 , 5F151FA14 , 5F151GA04

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