特許
J-GLOBAL ID：201503072867300647
差圧センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
吉田 正義
, 今枝 弘充
, 梅村 裕明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-554710
特許番号：特許第5674167号
出願日： 2012年01月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】空気室と、当該空気室の内外を連通する開口とが形成された本体と、
前記開口に設けられた検知部と
を備え、
前記検知部は、前記開口を塞ぐように傾動可能に設けられたカンチレバー部を有し、
前記カンチレバー部はピエゾ抵抗層が形成され、
前記カンチレバー部の外縁と、前記開口の間に形成された隙間から、前記空気室の内外へ気体が流通するように構成されており、
前記隙間は当該隙間を通って外部から前記空気室内に流入する気体の分子の平均自由行程の100倍以下であり、
前記ピエゾ抵抗層の抵抗変化から、前記空気室の内外の差圧を検出する
ことを特徴とする差圧センサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
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