特許
J-GLOBAL ID：201503073384785654

物品保管設備

発明者：
高原 正裕

高原 正裕 について

, 
上田 俊人

上田 俊人 について


出願人/特許権者：
株式会社ダイフク

株式会社ダイフク について


代理人 (3件)： 北村 修一郎 ,  三宅 一郎 ,  木村 昌人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-000205
公開番号（公開出願番号）：特開2013-139319
特許番号：特許第5716968号
出願日： 2012年01月04日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板を密閉状態で収容する搬送容器を収納自在な複数の収納部と、前記複数の収納部に対して前記搬送容器を搬送自在な搬送装置とが設けられ、 前記複数の収納部の夫々について、不活性気体を吐出する吐出口と、前記吐出口から吐出する前記不活性気体の流量を調節自在な流量調節装置とを備えて前記収納部に収納された前記搬送容器の内部に前記不活性気体を供給自在な不活性気体供給部が設けられ、 前記搬送装置と前記流量調節装置との作動を制御する制御手段が設けられた物品保管設備であって、 複数の前記不活性気体供給部のうちの一部又は全部を特定供給部として選択自在な特定供給部選択手段が設けられ、 前記制御手段が、前記搬送容器が収納された前記収納部における前記不活性気体供給部にて、前記搬送容器に対して所定の供給形態で前記不活性気体を供給する容器保管モードにて前記流量調節装置を作動させるように構成され、 前記収納部に前記搬送容器が収納される前に、当該収納部における前記不活性気体の供給が停止している前記吐出口に、吐出口浄化用の目標流量により吐出口浄化用の設定時間継続して前記不活性気体を供給するように前記流量調節装置を作動させ、当該収納部に前記搬送容器が収納されている間は、前記容器保管モードにて前記流量調節装置を作動させるように構成され、且つ、 前記特定供給部選択手段によって選択された前記特定供給部にて、前記吐出口から特定供給部用供給形態で前記不活性気体を供給する特定供給部用供給モードにて前記流量調節装置の作動を制御するように構成された物品保管設備。
IPC (2件)：
B65G 1/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/673 ( 200 6.01)
FI (2件)：
B65G 1/00 521 D ,  H01L 21/68 T
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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