特許

J-GLOBAL ID：201503074509348991

弾性境界波装置

発明者： 三村 昌和 ,  佐治 真理 ,  舩橋 健太郎
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-133990
公開番号（公開出願番号）：特開2015-012324
出願日： 2013年06月26日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
要約：

【課題】電気機械結合係数K2及び反射係数を効果的に高めることができる弾性境界波装置を提供する。【解決手段】LiNbO3層2上に、酸化ケイ素層3及び高音速媒質層4が積層されており、高音速媒質層4を伝搬する遅い横波の音速は、酸化ケイ素層3を伝搬する遅い横波の音速よりも高く、LiNbO3層2と酸化ケイ素層3との界面にIDT電極5が設けられており、IDT電極5が、Pt膜上にAl膜を積層した構造を有し、P+SV型弾性境界波を利用しており、該P+SV型弾性境界波の波長λとしたときに、酸化ケイ素層3の厚みが0.7λ〜1.0λの範囲にあり、Pt膜の膜厚が0.042λ〜0.06λの範囲にあり、Al膜の膜厚が0.08λ〜0.20λの範囲にある、弾性境界波装置1。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

LiNbO3と、 前記LiNbO3上に積層されている酸化ケイ素層と、 前記酸化ケイ素層上に積層されており、酸化ケイ素層を伝搬する遅い横波よりも、遅い横波の音速が相対的に高い高音速媒質層と、 前記LiNbO3と、前記酸化ケイ素層との間に配置されたIDT電極とを備え、 P+SV型弾性境界波を利用しており、 弾性境界波の波長λとしたときに、前記IDT電極が、Pt膜と、Pt膜上に積層されたAl膜とを有し、Pt膜の膜厚が0.042λ〜0.06λの範囲にあり、Al膜の膜厚が0.08λ〜0.20λの範囲にあり、 前記酸化ケイ素層の厚みが、0.7λ〜1.0λの範囲とされている、弾性境界波装置。

IPC (2件)：

H03H 9/145 ,  H03H 9/25

FI (2件)：

H03H9/145 C ,  H03H9/25 C

Fターム (11件)：

5J097AA01 ,  5J097AA06 ,  5J097AA23 ,  5J097BB02 ,  5J097DD28 ,  5J097DD29 ,  5J097FF03 ,  5J097GG04 ,  5J097KK05 ,  5J097KK06 ,  5J097KK09