特許
J-GLOBAL ID:201503075153905153

半導体装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 永井 冬紀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-211803
公開番号(公開出願番号):特開2015-076510
出願日: 2013年10月09日
公開日(公表日): 2015年04月20日
要約:
【課題】半導体装置における回路レイアウトの自由度を向上する。【解決手段】半導体装置は、第1および第2シリコン層1012,1011を絶縁層1013を介在して成るSOI基板101と、SOI基板上の第1シリコン層に形成された回路1、2と、第1シリコン層と絶縁層とを貫通して第2シリコン層に延在し、回路を第2シリコン層に熱的に結合する熱的結合部3とを備える。【選択図】図2
請求項(抜粋):
第1および第2シリコン層を絶縁層を介在して成るSOI基板と、 前記SOI基板上の前記第1シリコン層に形成された回路と、 前記第1シリコン層と前記絶縁層とを貫通して前記第2シリコン層に延在し、前記回路を前記第2シリコン層に熱的に結合する熱的結合部とを備える半導体装置。
IPC (2件):
H01L 21/822 ,  H01L 27/04
FI (1件):
H01L27/04 H
Fターム (10件):
5F038AZ08 ,  5F038BB01 ,  5F038BG02 ,  5F038BH16 ,  5F038BH19 ,  5F038CA08 ,  5F038EZ02 ,  5F038EZ06 ,  5F038EZ07 ,  5F038EZ20

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