特許
J-GLOBAL ID：201503075411758470
密閉型AFMセル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新居 広守
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012007326
公開番号（公開出願番号）：WO2013-073186
出願日： 2012年11月15日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
要約：
計測精度が低下せず、かつ、観察用液体が制限されない密閉型AFMセルを提供する。本発明に係る密閉型AFMセル(100)は、探針を有する片持ち梁(120)と、試料を固定するサンプルホルダー(132)と、サンプルホルダー(132)を移動させるスキャナー(134)と、探針が試料の計測面近傍に位置するように片持ち梁(120)を保持する蓋部(122)と、スキャナー(134)を保持する部材であり、試料を挟んで蓋部(122)と相対する部材である本体部(136)とを備え、蓋部(122)と本体部(136)とは、観察用液体とは異なる液体であり、当該観察用液体と接触していない液体である密閉用液体を介して接合されることにより、蓋部(122)と本体部(136)と密閉用液体とで形成される空間の内部に観察用液体を密閉する。
請求項（抜粋）：
観察用液体に浸漬された試料を計測するAFM(Atomic Force Microscope)のための密閉型AFMセルであって、
探針を有する片持ち梁と、
前記試料を固定するサンプルホルダーと、
前記サンプルホルダーを移動させる駆動部であるスキャナーと、
前記探針が前記試料の計測面近傍に位置するように前記片持ち梁を保持する蓋部と、
前記スキャナーを保持する部材であり、前記試料を挟んで前記蓋部と相対する部材である本体部とを備え、
前記蓋部と前記本体部とは、前記観察用液体とは異なる液体であり、当該観察用液体と接触していない液体である密閉用液体を介して接合されることにより、当該蓋部と当該本体部と前記密閉用液体とで形成される空間の内部に前記観察用液体を密閉する
密閉型AFMセル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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