特許
J-GLOBAL ID：201503076371313213
電位計測装置、及び原子間力顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新居 広守
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012005773
公開番号（公開出願番号）：WO2013-038659
出願日： 2012年09月12日
公開日（公表日）： 2013年03月21日
要約：
本発明に係る電位計測装置(100)は、電極(104)と、電極と試料との間の静電気力に対応する電圧を出力する変位計測部(212)と、電極と試料との間に第1の交流電圧を印加する第1の交流電源(101)と、第1の交流電圧と異なる周波数を有する第2の交流電圧を第1の交流電圧に加算して印加する第2の交流電源(102)と、変位計測部の出力に含まれる特定の周波数成分の大きさを出力する信号検出部(218)とを備え、信号検出部は変位計測部の出力のうち、第1の交流電圧の周波数と同じ周波数成分の大きさおよび位相と、第1の交流電圧の周波数と第2の交流電圧の周波数との差と同じ周波数の周波数成分の大きさとを、電位を算出する電位算出部に出力することにより、試料の表面電位を計測する。
請求項（抜粋）：
試料の表面電位を計測する電位計測装置であって、
電極と、
前記電極と前記試料との間の静電気力に対応する電圧を出力する変位計測部と、
前記電極と前記試料との間に、第1の交流電圧を印加する第1の交流電源と、
前記電極と前記試料との間に、前記第1の交流電圧の周波数と異なる周波数を有する第2の交流電圧を、前記第1の交流電圧に加算して印加する第2の交流電源と、
前記変位計測部によって出力される電圧に含まれる特定の周波数成分の大きさを出力する信号検出部とを備え、
前記信号検出部は、前記変位計測部によって出力される電圧のうち、(1)前記第1の交流電圧の周波数と同じ周波数の周波数成分の大きさおよび位相と、(2)前記第1の交流電圧の周波数と前記第2の交流電圧の周波数との差と同じ周波数の周波数成分の大きさとを、前記試料の表面電位を算出する電位算出部に出力することにより、前記試料の表面電位を計測する
電位計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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