特許

J-GLOBAL ID：201503076488268421

パッタリング装置およびシールド

発明者： 石原 繁紀
出願人/特許権者： キヤノンアネルバ株式会社
代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012005465
公開番号（公開出願番号）：WO2013-088600
出願日： 2012年08月30日
公開日（公表日）： 2013年06月20日
要約：

スパッタリング装置は、バッキングプレートと、ターゲットを前記バッキングプレートに固定するための固定部と、前記ターゲットの周囲を取り囲むシールドとを有する。前記シールドは、開口部を有し、前記固定部は、前記ターゲットの周辺部を前記バッキングプレートに押し付けることによって前記ターゲットを前記バッキングプレートに固定するように構成される。前記シールドは、前記固定部を介することなく前記バッキングプレートに対面する対面部と、前記対面部の外側の外側部とを有し、前記対面部と前記バッキングプレートとの間隔が、前記外側部と前記バッキングプレートとの間隔より小さい。さらに、前記シールドの前記処理空間に面する内面は、前記内面と前記バッキングプレートとの距離が前記外側部から前記対面部に向かうに従って小さくなるように傾斜した部分を含む。

請求項（抜粋）：

バッキングプレートと、ターゲットを前記バッキングプレートに固定するための固定部と、前記ターゲットの周囲を取り囲むシールドとを有し、処理空間においてスパッタリングによって基板に膜を形成するスパッタリング装置であって、 前記シールドは、開口部を有し、 前記固定部は、前記ターゲットの周辺部を前記バッキングプレートに押し付けることによって前記ターゲットを前記バッキングプレートに固定するように構成され、 前記シールドは、前記固定部を介することなく前記バッキングプレートに対面する対面部と、前記対面部の外側の外側部とを有し、前記対面部と前記バッキングプレートとの間隔が、前記外側部と前記バッキングプレートとの間隔より小さく、 前記シールドの前記処理空間に面する内面は、前記内面と前記バッキングプレートとの距離が前記外側部から前記対面部に向かうに従って小さくなるように傾斜した部分を含む、 ことを特徴とするスパッタリング装置。

IPC (1件)：

C23C 14/00

FI (1件)：

C23C14/00 B

Fターム (8件)：

4K029BA17 ,  4K029BA23 ,  4K029BA46 ,  4K029CA05 ,  4K029DA10 ,  4K029DC12 ,  4K029DC23 ,  4K029DC39