特許
J-GLOBAL ID:201503078395492812

レーザ光を用いたガス分析装置及びガス分析方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  川端 純市
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-171366
公開番号(公開出願番号):特開2015-040747
出願日: 2013年08月21日
公開日(公表日): 2015年03月02日
要約:
【課題】装置の大型化を招かず、ガスの濃度と温度の分析を可能とするガス分析装置を提供する。【解決手段】ガス分析装置10は、第1及び第2レーザ光を出力する第1及び第2レーザ光源11、12と、第1及び第2レーザ光の波長がそれぞれ所定の波長帯にて変化するよう第1及び第2レーザ光源を制御するレーザ制御手段11と、第1レーザ光と第2レーザ光を混合し、計測対象ガスに照射する合波手段15、17と、計測対象ガスを透過したレーザ光を受光する受光手段19と、受光手段からの電気信号に基づき、計測対象ガスの温度及び/または濃度を分析する解析手段23とを備える。レーザ制御手段14は、レーザ光の波長を変化させる際に、第1レーザ光の振幅の大きさと第2レーザ光の振幅の大きさとを異ならせ、かつ第1レーザ光の強度と第2レーザ光の強度とを逆方向に変化させる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第1レーザ光を出力する第1レーザ光源と、 第2レーザ光を出力する第2レーザ光源と、 前記第1レーザ光及び前記第2レーザ光の波長をそれぞれ所定の波長帯において変化させるように、前記第1レーザ光源及び前記第2レーザ光源を制御するレーザ制御手段と、 前記第1レーザ光と前記第2レーザ光を混合し、計測対象ガスに照射する合波手段と、 前記計測対象ガスを透過したレーザ光を受光し、受光したレーザ光の強度に応じた電気信号を出力する受光手段と、 前記受光手段から出力された電気信号に基づき前記計測対象ガスの温度及び/または濃度を分析する解析手段と、を備え、 前記レーザ制御手段は、前記第1レーザ光及び前記第2レーザ光の波長を変化させる際に、前記第1レーザ光の振幅の大きさと前記第2レーザ光の振幅の大きさとを異ならせて、かつ、前記第1レーザ光の強度と前記第2レーザ光の強度とを逆方向に変化させる、 ガス分析装置。
IPC (1件):
G01N 21/35
FI (1件):
G01N21/35 Z
Fターム (17件):
2G059AA01 ,  2G059AA10 ,  2G059BB01 ,  2G059CC09 ,  2G059CC13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059GG09 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05

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