特許
J-GLOBAL ID：201503079640223926
プローブカード検査修正装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-260637
公開番号（公開出願番号）：特開2015-105950
出願日： 2013年11月29日
公開日（公表日）： 2015年06月08日
要約：
【課題】 プローブ先端位置の検査と修正を連続して実施するプローブカード検査修正装置を提供する。【解決手段】 基台に支持され、プローブカードが装着されるホルダと、基台にXYZ方向に可動に支持されたステージと、前記ステージ上の任意のプローブを選択しプローブ先端部のX方向又はY方向に微小変形させるプローブX方向又はY方向修正ユニットと、前記ステージにXYZ方向に可動に設けられ任意のプローブ先端部を観察するプローブ先端観察装置と、ステージに接続された座標位置判定回路と、補正値制御回路とを含み、前記ホルダに設置されたプローブカードに対して、前記プローブ先端観察装置を対向させて任意のプローブ先端座標位置を測定検査し、前記プローブX方向若しくはY方向修正ユニットは指定されたプローブ先端部に装着して前記プローブ先端位置を修正する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基台と、
基台に支持され、プローブカードが着脱自在に装着されるプローブカードホルダと、
基台にXYZ方向に可動に支持されたステージと、
前記ステージ上に、
任意のプローブを選択しプローブ先端部のX方向に微小変形させるプローブX方向修正ユニットと、
任意のプローブを選択しプローブ先端部のY方向に微小変形させるプローブY方向修正ユニットと、
前記ステージにXYZ方向に移動自在に設けられ任意のプローブ先端部を観察するプローブ先端観察装置と、
前記プローブ先端観察装置及び前記ステージに接続された座標位置判定回路と補正値制御回路と、
を含み、
前記プローブカードホルダに設置されたプローブカードに対して、
前記プローブ先端観察装置を対向させて任意のプローブ先端座標位置を測定検査し、
前記プローブX方向修正ユニット若しくは前記プローブY方向修正ユニットを、指定されたプローブ先端部に装着して前記プローブ先端位置を修正すること、
を特徴とするプローブカード検査修正装置。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R1/073 E
, G01R31/26 J
, H01L21/66 B
2G003AG04
, 2G003AG13
, 2G003AG20
, 2G003AH01
, 2G003AH06
, 2G011AA02
, 2G011AA16
, 2G011AB01
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 4M106DD10
, 4M106DD18
