特許
J-GLOBAL ID：201503081036841497

パーティクル測定装置、パーティクル測定方法

発明者：
鶴田 薫

鶴田 薫 について


出願人/特許権者：
株式会社ニューフレアテクノロジー

株式会社ニューフレアテクノロジー について


代理人 (1件)： 特許業務法人サクラ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-143212
公開番号（公開出願番号）：特開2015-018845
出願日： 2013年07月09日
公開日（公表日）： 2015年01月29日
要約：
【課題】パーティクルの発生源を効率的に特定できるパーティクル測定装置及びパーティクル測定方法を提供する。【解決手段】パーティクル測定装置20は、電子線によりマスク基板上に所望のパターンを描画する電子線描画装置に用いるパーティクル測定装置であって、パーティクル測定装置20の表面に格子状に複数配置され、表面に付着したパーティクルを検出する検出器Sと、検出器での検出結果を、検出時刻とともにメモリに記憶する制御部と、を具備する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
電子線によりマスク基板上に所望のパターンを描画する電子線描画装置に用いるパーティクル測定装置であって、 前記パーティクル測定装置の表面に格子状に複数配置され、前記表面に付着したパーティクルを検出する検出器と、 前記検出器での検出結果を、検出時刻とともにメモリに記憶する制御部と、 を具備するパーティクル測定装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  H01L 21/66 ,  G01N 23/225
FI (4件)：
H01L21/30 541V ,  H01L21/30 541Z ,  H01L21/66 Y ,  G01N23/225
Fターム (17件)：
2G001AA03 ,  2G001BA06 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001CA03 ,  2G001GA12 ,  2G001HA13 ,  2G001LA11 ,  4M106AA07 ,  4M106AB01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA42 ,  4M106DH12 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ21 ,  5F056BA10 ,  5F056BB10
引用特許：
審査官引用 (7件)
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