特許
J-GLOBAL ID：201503081489235725
周期表第13族金属窒化物結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-173989
公開番号（公開出願番号）：特開2015-040170
出願日： 2013年08月23日
公開日（公表日）： 2015年03月02日
要約：
【課題】アモノサーマル法において、純度の高く、欠陥の少ない高品質の周期表第13族金属窒化物結晶を効率良く製造する方法を提供する。【解決手段】反応容器1中で、超臨界状態及び/又は亜臨界状態にある溶媒6存在下にて、下地基板6上に周期表第13族金属窒化物結晶を成長させる工程を含み、反応容器中には、窒素含有溶媒、周期表第13族金属窒化物結晶原料、フッ素を含有する鉱化剤及びアルミニウムを存在させることを特徴とする周期表第13族金属窒化物結晶の製造方法。反応容器中に存在するフッ素のモル量(F)とアルミニウム(Al)の比(F/Al)が4.0以上であり、前記窒化物結晶を成長する工程において、反応容器1の圧力が50〜700MPaであり、温度が400〜700°Cで結晶を成長させる、周期表第13族金属酸化物結晶の製造方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
反応容器中で、超臨界状態及び/又は亜臨界状態にある溶媒存在下にて、下地基板上に周期表第13族金属窒化物結晶を成長させる工程を含み、
前記反応容器中には、窒素含有溶媒、周期表第13族金属窒化物結晶原料、フッ素を含有する鉱化剤及びアルミニウムを存在させることを特徴とする周期表第13族金属窒化物結晶の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
4G077AA02
, 4G077AB02
, 4G077BE15
, 4G077CB01
, 4G077EA02
, 4G077EA04
, 4G077EC08
, 4G077ED05
, 4G077KA01
, 4G077KA03
, 4G077KA07
, 4G077KA09
