半導体装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-141867
公開番号（公開出願番号）：特開2015-038974
出願日： 2014年07月10日
公開日（公表日）： 2015年02月26日
要約：

【課題】微細化に伴い顕著となる電気特性の低下を抑制できる構成の半導体装置を提供する。【解決手段】絶縁表面上の第1の酸化物半導体膜と、第1の酸化物半導体膜上の第2の酸化物半導体膜と、絶縁表面の上面、第1の酸化物半導体膜の側面、第2の酸化物半導体膜の側面および第2の酸化物半導体膜の上面と接する第3の酸化物半導体膜と、第3の酸化物半導体膜上のゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜に接し、第2の酸化物半導体膜の上面および側面に面するゲート電極と、を有し、第1の酸化物半導体膜の厚さが、第3の酸化物半導体膜の厚さおよびゲート絶縁膜の厚さの合計よりも大きく、第1の酸化物半導体膜の厚さと第3の酸化物半導体膜の厚さおよびゲート絶縁膜の厚さの合計の差は、20nm以上である構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

絶縁表面上の第1の酸化物半導体膜と、前記第1の酸化物半導体膜上の第2の酸化物半導体膜と、前記絶縁表面の上面、前記第1の酸化物半導体膜の側面、前記第2の酸化物半導体膜の側面および前記第2の酸化物半導体膜の上面と接する第3の酸化物半導体膜と、前記第3の酸化物半導体膜上のゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜に接し、前記第2の酸化物半導体膜の上面および側面に面するゲート電極と、を有し、前記第1の酸化物半導体膜の厚さが、前記第3の酸化物半導体膜の厚さおよび前記ゲート絶縁膜の厚さの合計よりも大きく、前記第1の酸化物半導体膜の厚さと前記第3の酸化物半導体膜の厚さおよび前記ゲート絶縁膜の厚さの合計の差は、20nm以上であることを特徴とする半導体装置。

IPC (8件)：

H01L 29/786 , H01L 21/336 , H01L 27/146 , H01L 21/824 , H01L 27/108 , H01L 27/115 , H01L 29/788 , H01L 29/792

FI (7件)：

H01L29/78 618E , H01L29/78 618B , H01L29/78 626C , H01L27/14 C , H01L27/10 321 , H01L27/10 434 , H01L29/78 371

Fターム (118件)：

4M118AB01 , 4M118BA05 , 4M118CA05 , 4M118FB03 , 4M118FB09 , 4M118FB13 , 4M118GA03 , 4M118HA26 , 5F083AD02 , 5F083AD69 , 5F083EP02 , 5F083EP21 , 5F083ER21 , 5F083GA05 , 5F083JA02 , 5F083JA05 , 5F083JA06 , 5F083JA19 , 5F083JA36 , 5F083JA37 , 5F083JA39 , 5F083JA40 , 5F083JA60 , 5F101BA17 , 5F101BB01 , 5F101BD12 , 5F101BE07 , 5F110AA04 , 5F110AA07 , 5F110AA09 , 5F110BB05 , 5F110BB10 , 5F110CC02 , 5F110CC05 , 5F110CC10 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD04 , 5F110DD05 , 5F110DD06 , 5F110DD12 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD15 , 5F110DD17 , 5F110DD21 , 5F110DD25 , 5F110EE01 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE11 , 5F110EE14 , 5F110EE22 , 5F110EE30 , 5F110EE38 , 5F110EE44 , 5F110EE45 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF05 , 5F110FF09 , 5F110FF27 , 5F110FF28 , 5F110FF29 , 5F110FF30 , 5F110FF32 , 5F110FF33 , 5F110FF36 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG03 , 5F110GG04 , 5F110GG06 , 5F110GG07 , 5F110GG12 , 5F110GG13 , 5F110GG14 , 5F110GG15 , 5F110GG16 , 5F110GG17 , 5F110GG19 , 5F110GG22 , 5F110GG24 , 5F110GG28 , 5F110GG29 , 5F110GG33 , 5F110GG34 , 5F110GG35 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG44 , 5F110GG58 , 5F110HJ30 , 5F110HK01 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK17 , 5F110HK33 , 5F110HK34 , 5F110NN03 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN33 , 5F110NN34 , 5F110NN35 , 5F110NN40 , 5F110NN71 , 5F110NN72 , 5F110NN74 , 5F110QQ04 , 5F110QQ09 , 5F110QQ19

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