特許

J-GLOBAL ID：201503083837213369

基板処理装置

発明者： 茂野 幸英 ,  秩父 孝夫
出願人/特許権者： 株式会社SCREENホールディングス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-203395
公開番号（公開出願番号）：特開2015-070121
出願日： 2013年09月30日
公開日（公表日）： 2015年04月13日
要約：

【課題】複数の吐出口列の吐出動作の良否を精度良く判定する。【解決手段】 吐出ヘッド31は基板9に向けて複数の吐出口314から液滴を吐出することにより該基板9に基板処理を施す。複数の吐出口314は複数の吐出口列313a〜313dで構成されている。光出射部51は検査位置の下方に面状光510を出射する。吐出ヘッド31から液滴を吐出すると、液滴は面状光510を通過する際に輝点を生じさせる。この輝点を撮像手段52で撮像することで検査画像が取得され、この検査画像に基づいて各吐出口314の吐出動作が判定される。吐出ヘッド31と面状光510の間には特定の吐出口列313からの液滴のみを通過させるスリット62が形成されたバット61が配設されている。バット61を吐出口列の列設方向に順番に動かすことにより任意の吐出口列の液滴のみを撮像する。液滴の重なりが生じないため吐出動作の判定を精度よく実行できる。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

基板を水平姿勢で保持する基板保持手段と、 所定の配列方向に並べられた複数の吐出口を該配列方向に交差する列設方向に複数列並べた複数の吐出口列を有するとともに、該複数の吐出口列から前記基板保持手段に保持された前記基板に向けて液滴を吐出する吐出手段と、 前記吐出手段を前記基板に対向する位置と、該基板に対向する位置から離れた検査位置との間で移動させる吐出手段移動機構と、 前記検査位置に配置された前記吐出手段の前記複数の吐出口から吐出された複数の液滴に向けて、予め定められた光存在面に沿って光を照射する光出射手段と、 前記液滴が前記面状光を通過する際に発する輝点を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段が出力する検査画像に基づいて各吐出口の吐出動作を判定する判定手段と、 前記複数の吐出口列のうちの少なくとも1つの吐出口列に対応する吐出口から吐出された液滴を通過させることが可能なスリットが形成されると共に、該吐出口列以外の吐出口列から吐出された液滴を遮断するバットと、 前記吐出口と前記光存在面との間で、前記バットと前記吐出手段との位置関係を前記列設方向に変更させる位置変更手段と、 前記光出射手段、前記撮像手段、および前記位置変更手段を制御することにより、前記撮像手段により撮像される液滴の列を順次変更しつつ、前記判定手段により前記吐出口の動作判定を行わせる制御手段と、を備えた基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 ,  H01L 21/683

FI (3件)：

H01L21/304 648G ,  H01L21/68 N ,  H01L21/304 643C

Fターム (31件)：

5F131AA02 ,  5F131BA37 ,  5F131CA12 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131EA06 ,  5F131EA24 ,  5F131EB53 ,  5F131EB55 ,  5F131EB57 ,  5F131FA14 ,  5F157AA73 ,  5F157AB02 ,  5F157AB13 ,  5F157AB33 ,  5F157AB42 ,  5F157AB90 ,  5F157AC01 ,  5F157AC13 ,  5F157BB23 ,  5F157BB33 ,  5F157BH17 ,  5F157CB31 ,  5F157CD29 ,  5F157CE24 ,  5F157CE28 ,  5F157CF40 ,  5F157CF42 ,  5F157CF50 ,  5F157DA21 ,  5F157DB51