特許
J-GLOBAL ID：201503085048796565
反射電子の露光量見積装置、これを用いた電子線描画装置及び反射電子の露光量見積方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
廣瀬 一
, 宮坂 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-135305
公開番号（公開出願番号）：特開2015-012084
出願日： 2013年06月27日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
要約：
【課題】電子線描画における反射電子による試料の露光量を、正確に見積もることができる技術を提供する。【解決手段】電子に感光性を有する試料21に対向配置されかつ試料21に電子線描画装置9から照射された電子線2の反射電子2a、2bが衝突する衝突面11aを有するとともに、衝突面11aにおける反射電子2a、2bの衝突位置及び強度を検知する検知部11と、検知部11で検知された反射電子2a、2bの角度を算出する算出部12と、算出部12で算出された角度及び衝突位置に基づき、衝突面11aに衝突して反射した反射電子2a、2bのうち試料11に再び入射する反射電子2aを判定する判定部13と、判定部13で判定された反射電子2aの強度に基づき、試料11に生じる露光量を見積もる見積部14とを有する露光量見積装置1。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子に感光性を有する試料に対向配置されかつ当該試料に電子線描画装置から照射された電子線の反射電子が衝突する衝突面を有するとともに、当該衝突面における前記反射電子の衝突位置及び強度を検知する検知部と、
当該検知部で検知された反射電子の前記衝突位置と前記試料上の電子線の照射位置とから前記反射電子の角度を算出する算出部と、
当該算出部で算出された前記角度及び前記衝突位置に基づき、前記衝突面に衝突して反射した反射電子のうち前記試料に再び入射する反射電子を判定する判定部と、
当該判定部で前記試料に再び入射すると判定された反射電子の強度に基づき、前記試料に再び入射する反射電子によって前記試料に生じる露光量を見積もる見積部と、
を有する反射電子の露光量見積装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, H01J 37/305
H01L21/30 541E
, H01J37/305 B
5C034BB10
, 5F056BA02
, 5F056BA09
, 5F056BB01
, 5F056BC10
, 5F056CB03
