特許
J-GLOBAL ID:201503085544723926

感放射線性樹脂組成物、表示素子の絶縁膜、その形成方法及び表示素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (9件): 天野 一規 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  石田 耕治 ,  各務 幸樹 ,  根木 義明 ,  川端 和也 ,  塩谷 隆嗣 ,  藤中 賢一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-205672
公開番号(公開出願番号):特開2015-069164
出願日: 2013年09月30日
公開日(公表日): 2015年04月13日
要約:
【課題】高い放射線感度及び密着性を有し、かつ現像染み込及び配線腐食を抑制できる感放射線性樹脂組成物、並びにフレキシブルディスプレイ用として好適な絶縁性を有する絶縁膜を提供する。【解決手段】フルオレン系化合物又はインダン系化合物とテトラカルボン酸二無水物とを反応させて得られる重合体、アルカリ可溶性樹脂及び感放射線性化合物を含む感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記式(1-1)で表される化合物及び下記(1-2)で表される化合物のうちの少なくとも一方とテトラカルボン酸二無水物とを反応させて得られる重合体、アルカリ可溶性樹脂、及び感放射線性化合物を含む感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F 7/023 ,  G03F 7/027 ,  C08F 290/14 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/033
FI (5件):
G03F7/023 ,  G03F7/027 512 ,  C08F290/14 ,  H01L21/30 502R ,  G03F7/033
Fターム (66件):
2H125AC36 ,  2H125AC58 ,  2H125AC72 ,  2H125AD06 ,  2H125AE13P ,  2H125AF04P ,  2H125AF05P ,  2H125AM73P ,  2H125AM85P ,  2H125AM99P ,  2H125AN33P ,  2H125AN35P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125BA05P ,  2H125CA21 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC13 ,  2H125CC21 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127AA06 ,  4J127BB041 ,  4J127BB081 ,  4J127BB221 ,  4J127BC031 ,  4J127BC151 ,  4J127BD141 ,  4J127BE291 ,  4J127BE29Y ,  4J127BE311 ,  4J127BE31Y ,  4J127BF241 ,  4J127BF24X ,  4J127BF441 ,  4J127BF44X ,  4J127BG041 ,  4J127BG04X ,  4J127BG051 ,  4J127BG05X ,  4J127BG091 ,  4J127BG09X ,  4J127BG101 ,  4J127BG10Y ,  4J127BG121 ,  4J127BG12X ,  4J127BG171 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG181 ,  4J127BG18X ,  4J127CB371 ,  4J127CB372 ,  4J127CB373 ,  4J127CC091 ,  4J127CC111 ,  4J127CC112 ,  4J127CC113 ,  4J127CC151 ,  4J127CC152 ,  4J127CC153 ,  4J127DA46 ,  4J127DA52 ,  4J127FA00 ,  4J127FA37
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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