仮固定用接着剤組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：アクシス国際特許業務法人
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012069851
公開番号（公開出願番号）：WO2013-021945
出願日： 2012年08月03日
公開日（公表日）： 2013年02月14日
要約：

本発明は、シリコンブロックからシリコンウエハを加工するに際して、シリコンウエハのチッピングを抑制するのに好適なアクリル系仮固定用接着剤組成物の提供することを目的とし、(1)(メタ)アクリロイル基を有するモノマー、(2)重合開始剤、(3)β-ジケトンキレート及び/又はβ-ケトエステル、(4)無機フィラーを含有してなる仮固定用接着剤組成物である。

請求項（抜粋）：

(1)(メタ)アクリロイル基を有するモノマー及び/又はオリゴマー100質量部、(2)重合開始剤、(3)β-ジケトンキレート及び/又はβ-ケトエステル、(4)25〜300質量部の無機フィラーを含有してなる仮固定用接着剤組成物。

IPC (7件)：

C09J 4/02 , C09J 11/04 , C09J 11/06 , B28D 5/04 , B26D 7/06 , H01L 21/304 , H01L 21/02

FI (8件)：

C09J4/02 , C09J11/04 , C09J11/06 , B28D5/04 C , B26D7/06 Z , H01L21/304 611B , H01L21/304 611A , H01L21/02 C

Fターム (42件)：

3C069AA01 , 3C069BA06 , 3C069CA02 , 3C069CA04 , 3C069CA11 , 3C069CB01 , 4J040CA001 , 4J040CA002 , 4J040FA081 , 4J040FA082 , 4J040FA141 , 4J040FA142 , 4J040FA161 , 4J040FA162 , 4J040FA221 , 4J040FA222 , 4J040GA05 , 4J040HA136 , 4J040HA286 , 4J040HA306 , 4J040HA356 , 4J040HB02 , 4J040HB20 , 4J040HB30 , 4J040HD43 , 4J040KA11 , 4J040KA19 , 4J040KA42 , 4J040MA04 , 4J040MA10 , 4J040NA20 , 4J040NA22 , 4J040PA20 , 5F057AA05 , 5F057AA12 , 5F057AA47 , 5F057BA01 , 5F057CA02 , 5F057CA04 , 5F057CA07 , 5F057DA15 , 5F057EC03

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