ガラス部材の製造方法及びガラス部材

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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：吉田正義 , 今枝弘充 , 梅村裕明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-260712
公開番号（公開出願番号）：特開2015-117147
出願日： 2013年12月18日
公開日（公表日）： 2015年06月25日
要約：

【課題】光学部材の表面に光の波長より小さい微細構造を形成し、擬似的に屈折率を制御し反射防止効果を得ると云うガラスの光学特性を変化させたガラス部材を容易に製造できるガラス部材の製造方法及びガラス部材を提供する。【解決手段】アルカリ金属、アルカリ土類金属及び希土類から選ばれる1つ以上の元素を含むガラス基材2の表面を、フッ素系のガスを用いてプラズマエッチングする第1工程を備えるので、第1工程中にガラス基材2の表面にフッ化物層4が形成され、当該フッ化物層4がマスクとして機能し、当該マスクに覆われている部分がエッチングされずに残って先端部にフッ化物層4を有する凸部3となる。よって、プラズマエッチングによる処理のみで光学特性を変化させたガラス部材1を容易に製造できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ガラスで形成された基体の少なくとも一表面に、前記基体と一体に形成された複数の凸部を備え、前記凸部は、アルカリ金属、アルカリ土類金属及び希土類のフッ化物から選ばれる1以上を含むフッ化物層を先端部に有することを特徴とするガラス部材。

IPC (3件)：

C03C 15/00 , H01L 31/054 , G02B 1/11

FI (3件)：

C03C15/00 A , H01L31/04 620 , G02B1/10 A

Fターム (15件)：

2K009AA01 , 2K009BB02 , 2K009CC06 , 2K009DD04 , 4G059AA01 , 4G059AC01 , 4G059AC04 , 4G059AC22 , 4G059BB01 , 4G059BB10 , 4G059BB13 , 5F151BA11 , 5F151BA16 , 5F151CB22 , 5F151JA03

引用特許：

審査官引用 (4件)

基板処理装置とその方法、および薄膜太陽電池
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-232102 出願人：三菱電機株式会社
光学部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-102840 出願人：公立大学法人大阪府立大学, 住友電気工業株式会社, 住友電工ハードメタル株式会社
撥水離水防汚処理液およびそれを用いた撥水離水性防汚膜とその製造方法およびそれらを用いた製品
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-039843 出願人：小川一文

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