特許
J-GLOBAL ID:201503089151028075

封止用シート、及び、当該封止用シートを用いた半導体装置の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-160535
公開番号(公開出願番号):特開2015-032660
出願日: 2013年08月01日
公開日(公表日): 2015年02月16日
要約:
【課題】レーザーマーキング性に優れた封止用シートを提供する。【解決手段】電子デバイスの封止に使用する熱硬化性の封止用シート10であって、一方の面の表面粗さ(Ra)が、硬化前において、3μm以下であり、着色剤が添加されている封止用シート10に、レーザーマーキング用のレーザー36を用いてレーザーマーキングを行う。【選択図】図6
請求項(抜粋):
電子デバイスの封止に使用する熱硬化性の封止用シートであって、 一方の面の表面粗さ(Ra)が、3μm以下であることを特徴とする封止用シート。
IPC (4件):
H01L 23/29 ,  H01L 23/31 ,  H01L 23/00 ,  H01L 21/56
FI (3件):
H01L23/30 R ,  H01L23/00 A ,  H01L21/56 R
Fターム (16件):
4M109AA01 ,  4M109BA03 ,  4M109CA26 ,  4M109DB15 ,  4M109EA02 ,  4M109EA12 ,  4M109EB03 ,  4M109EB12 ,  4M109EB18 ,  4M109EC13 ,  4M109GA08 ,  5F061AA01 ,  5F061BA03 ,  5F061CA26 ,  5F061CB03 ,  5F061DB01
引用特許:
審査官引用 (9件)
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