特許
J-GLOBAL ID:201503089151028075
封止用シート、及び、当該封止用シートを用いた半導体装置の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-160535
公開番号(公開出願番号):特開2015-032660
出願日: 2013年08月01日
公開日(公表日): 2015年02月16日
要約:
【課題】レーザーマーキング性に優れた封止用シートを提供する。【解決手段】電子デバイスの封止に使用する熱硬化性の封止用シート10であって、一方の面の表面粗さ(Ra)が、硬化前において、3μm以下であり、着色剤が添加されている封止用シート10に、レーザーマーキング用のレーザー36を用いてレーザーマーキングを行う。【選択図】図6
請求項(抜粋):
電子デバイスの封止に使用する熱硬化性の封止用シートであって、
一方の面の表面粗さ(Ra)が、3μm以下であることを特徴とする封止用シート。
IPC (4件):
H01L 23/29
, H01L 23/31
, H01L 23/00
, H01L 21/56
FI (3件):
H01L23/30 R
, H01L23/00 A
, H01L21/56 R
Fターム (16件):
4M109AA01
, 4M109BA03
, 4M109CA26
, 4M109DB15
, 4M109EA02
, 4M109EA12
, 4M109EB03
, 4M109EB12
, 4M109EB18
, 4M109EC13
, 4M109GA08
, 5F061AA01
, 5F061BA03
, 5F061CA26
, 5F061CB03
, 5F061DB01
引用特許:
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