特許
J-GLOBAL ID:201503089847249440
液滴塗布装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
勝沼 宏仁
, 永井 浩之
, 磯貝 克臣
, 堀田 幸裕
, 野本 裕史
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-196103
公開番号(公開出願番号):特開2015-058422
出願日: 2013年09月20日
公開日(公表日): 2015年03月30日
要約:
【課題】簡易な構成により、基材に対する塗布用針の押付け圧力を正確にコントロールすることができる液滴塗布装置を提供する。【解決手段】基材の支持する基材支持部と、基材支持部に支持された基材に対向するように配置され、内部に塗布液が収容されると共に、底面に塗布液が流出しない大きさの微小孔が形成されている塗布液収容部と、塗布液収容部の微小孔に対する上方位置に配置されて先端に塗布液が付着された状態と当該微小孔を貫通した状態との間で移動可能である塗布用針と、基材支持部上の基材に対して塗布用針の先端に付着されていた塗布液を液滴として接触させるように塗布用針を移動させる塗布用針駆動部と、を備え、塗布用針は、超弾性を有する合金からなり、塗布用針駆動部は、基材支持部上の基材に対して塗布用針の先端を当接させるように当該塗布用針を移動させることを特徴とする液滴塗布装置である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基材の裏面を支持する基材支持部と、
前記基材支持部に支持された前記基材の表面側に対向するように配置され、内部に塗布液が収容されると共に、底面に前記塗布液の表面張力により当該塗布液が自重によっては流出しない大きさの微小孔が形成されている塗布液収容部と、
前記塗布液収容部の微小孔に対する上方位置に配置されて先端に前記塗布液が付着された状態と当該微小孔を貫通した状態との間で移動可能である塗布用針と、
前記基材支持部上の前記基材に対して前記塗布用針の先端に付着されていた塗布液を液滴として接触させるように当該塗布用針を移動させる塗布用針駆動部と、
を備え、
前記塗布用針は、超弾性を有する合金からなり、
前記塗布用針駆動部は、前記基材支持部上の前記基材に対して前記塗布用針の先端を当接させるように当該塗布用針を移動させる
ことを特徴とする液滴塗布装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (26件):
2C162AE25
, 2C162AE31
, 2C162AE43
, 2C162AE46
, 2C162AE76
, 2C162AF01
, 2C162AF13
, 2C162AF16
, 2G052CA18
, 2G052CA39
, 2G058EA11
, 2G058EB19
, 4F040AA02
, 4F040AA22
, 4F040AB04
, 4F040AC01
, 4F040BA02
, 4F040BA06
, 4F040CA02
, 4F040CA05
, 4F040CA09
, 4F040CA13
, 4F040CA17
, 4F040DA04
, 4F040DA14
, 4F040DA17
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