特許

J-GLOBAL ID：201503090466307051

防着治具の使用方法及び防着治具

発明者： 山脇 秀樹
出願人/特許権者： トランスフォーム・ジャパン株式会社
代理人 (5件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦 ,  小澁 高弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-208541
公開番号（公開出願番号）：特開2015-073036
出願日： 2013年10月03日
公開日（公表日）： 2015年04月16日
要約：

【課題】成膜履歴の異なる治具表面の堆積層を同時にエッチング洗浄しても、オーバーエッチングによる母材へのダメージを抑え、防着治具の長寿命化を実現し、防着治具を繰り返し使用に供する。【解決手段】成膜装置内に設けられる、成膜装置内への膜の付着を防止するための防着治具3の使用方法であって、防着治具3の表面に、所定の厚みに被膜13を形成し、被膜13が形成された防着治具3が成膜装置内に配置されて成膜装置が用いられ、被膜13上に堆積層14が形成された後、防着治具3を洗浄剤を用いて洗浄し、被膜13は、少なくともその表層部分が堆積層14の少なくとも最下層部分よりもエッチングガスに対するエッチング速度が低い材質である。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

成膜装置内に設けられる、前記成膜装置内への膜の付着を防止するための防着治具の使用方法であって、 前記防着治具の表面に、所定の厚みに被膜を形成する工程と、 前記被膜が形成された前記防着治具が前記成膜装置内に配置されて前記成膜装置が用いられ、前記被膜上に堆積層が形成された後、前記防着治具を洗浄剤を用いて洗浄する工程と を含み、 前記被膜は、少なくともその表層部分が、前記堆積層の少なくとも最下層部分と前記洗浄剤に対するエッチング速度が低い材質であることを特徴とする防着治具の使用方法。

IPC (3件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/306

FI (3件)：

H01L21/205 ,  C23C16/44 J ,  H01L21/302 101H

Fターム (25件)：

4K030AA11 ,  4K030AA13 ,  4K030BA02 ,  4K030BA08 ,  4K030BA38 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030DA06 ,  4K030DA08 ,  4K030KA12 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  4K030LA14 ,  4K030LA15 ,  5F004AA15 ,  5F004BD04 ,  5F004DA00 ,  5F004DA29 ,  5F045AA05 ,  5F045AB09 ,  5F045AB14 ,  5F045AC03 ,  5F045AC13 ,  5F045EB06 ,  5F045EC01