特許
J-GLOBAL ID：201503092883424047
ウエハ検査ユニット、テストヘッド及びウエハ検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
別役 重尚
, 村松 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-195205
公開番号（公開出願番号）：特開2015-061021
出願日： 2013年09月20日
公開日（公表日）： 2015年03月30日
要約：
【課題】ウエハ検査装置において、一のマザーボード上で冷媒漏れが生じたときに、漏れた冷媒が他のテストヘッド等へ漏れ出すことを防止する。【解決手段】 ウエハWに形成された半導体デバイスを検査する検査回路基板44と、検査回路基板44に取り付けられ、内部に冷媒が流される冷媒流路管47と、上面に検査回路基板44が立設されるマザーボード43とを備えるウエハ検査ユニット21において、冷媒流路管47から漏れた冷媒を検知するためにマザーボード43の上面に冷媒検知センサ45を配置すると共に、冷媒流路管47から漏れた冷媒をマザーボード43上で堰き止めて貯留するためにマザーボード43の外周に沿って壁部46を設ける。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
半導体ウエハに形成された半導体デバイスを検査する検査回路基板と、
前記検査回路基板に取り付けられ、内部に冷媒が流される冷媒流路管と、
上面に前記検査回路基板が立設されるマザーボードとを備え、
前記マザーボードは、
前記冷媒流路管から漏れた冷媒を検知するために前記マザーボードの上面に配置された冷媒検知センサと、
前記冷媒流路管から漏れた冷媒を前記マザーボード上で堰き止めて貯留するために前記マザーボードの外周に沿って立設された壁部とを備えることを特徴とするウエハ検査ユニット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/66 B
, G01R31/28 K
2G132AA00
, 2G132AF02
, 2G132AF20
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106DD03
, 4M106DD10
, 4M106DD23
, 4M106DH23
, 4M106DH45
