特許

J-GLOBAL ID：201503094625198655

半導体測定装置

発明者： 志村 昌洋
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： きさらぎ国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-188983
公開番号（公開出願番号）：特開2015-055550
出願日： 2013年09月12日
公開日（公表日）： 2015年03月23日
要約：

【課題】高精度な測定を可能にした半導体測定装置を提供する。【解決手段】半導体測定装置は、半導体装置の第1の面に位置する第1電極に電気的に接続される第1センス端子と、半導体装置の第1電極に電気的に接続される第1フォース端子と、半導体装置の第1の面とは反対側の第2の面に位置する第2電極に電気的に接続される第2センス端子と、半導体装置の第2電極に電気的に接続される第2フォース端子とを備える。第2フォース端子は、第2センス端子の各々の周囲に複数個ずつ配置されている。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

半導体装置の第1の面に位置する第1電極に電気的に接続される第1センス端子と、 前記半導体装置の前記第1電極に電気的に接続される第1フォース端子と、 前記半導体装置の前記第1の面とは反対側の第2の面に位置する第2電極に電気的に接続される第2センス端子と、 前記半導体装置の前記第2電極に電気的に接続され、前記第2センス端子の各々の周囲に複数個ずつ配置された第2フォース端子と を備えたことを特徴とする半導体測定装置。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R31/26 J ,  H01L21/66 B

Fターム (14件)：

2G003AA01 ,  2G003AA02 ,  2G003AE06 ,  2G003AE09 ,  2G003AG03 ,  2G003AG13 ,  2G003AH01 ,  2G003AH05 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10 ,  4M106DH51