特許
J-GLOBAL ID：201503095313991230
温度センサ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉浦 秀幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-166063
公開番号（公開出願番号）：特開2015-034760
出願日： 2013年08月09日
公開日（公表日）： 2015年02月19日
要約：
【課題】 光の透過率が高く、透明な部分等に設置可能な温度センサを提供すること。【解決手段】 透明基板2と、透明基板の表面にサーミスタ材料でパターン形成された薄膜サーミスタ部3と、薄膜サーミスタ部の上に互いに対向してパターン形成された一対の電極4とを備え、電極が、透明電極で形成され、薄膜サーミスタ部が、一般式:TixAlyNz(0.85≦y/(x+y)≦0.95、0.4≦z≦0.5、x+y+z=1)で示される金属窒化物からなり、その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相であり、基板面に対して垂直方向にa軸よりc軸が強く配向している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透明基板と、
前記透明基板の表面にサーミスタ材料でパターン形成された薄膜サーミスタ部と、
前記薄膜サーミスタ部の上及び下の少なくとも一方に互いに対向してパターン形成された一対の電極とを備え、
前記電極が、透明電極で形成され、
前記薄膜サーミスタ部が、一般式:TixAlyNz(0.85≦y/(x+y)≦0.95、0.4≦z≦0.5、x+y+z=1)で示される金属窒化物からなり、その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相であり、基板面に対して垂直方向にa軸よりc軸が強く配向していることを特徴とする温度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
5E034BA09
, 5E034BB08
, 5E034BC20
, 5E034DA02
, 5E034DC05
