特許

J-GLOBAL ID：201503095543707957

反射防止膜、光学素子および光学機器

発明者： 石松 理絵
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (3件)： 藤元 亮輔 ,  水本 敦也 ,  平山 倫也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-222076
公開番号（公開出願番号）：特開2015-084024
出願日： 2013年10月25日
公開日（公表日）： 2015年04月30日
要約：

【課題】反射防止特性が良好な反射防止膜を提供する。【解決手段】基材1上に形成される反射防止膜100は、400nmより小さいピッチの凹凸構造と中間層2とを有する。凹凸構造は、厚さ165nm以上300nm以下、中心波長550nmの光に対する有効屈折率は中間層側の1.35以上1.58以下の値から光入射側に変化する。該光に対して基材の屈折率は1.40以上1.75以下、中間層は基材側から順に積層された該光に対する屈折率n1で物理膜厚d1の第1層、屈折率n2で物理膜厚d2の第2層、屈折率n3で物理膜厚d3の第3層、屈折率n4で物理膜厚d4の第4層を有し、1.55≦n1≦1.70、1.35≦n2≦1.52、1.85≦n3≦2.40、1.35≦n4≦1.52、10nm≦n1d1≦260nm、10nm≦n2d2≦45nm、5nm≦n3d3≦35nm、n4d4≦125nmである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材上に形成される反射防止膜であって、 400nmより小さいピッチで形成された凹凸構造と、 該凹凸構造と前記基材との間に形成された中間層と、を有し、 前記凹凸構造の厚さは165nm以上300nm以下であり、 中心波長550nmの光に対する前記凹凸構造の有効屈折率は前記中間層側での1.35以上1.58以下の値から光入射側に向かって変化し、 中心波長550nmの光に対する前記基材の屈折率は1.40以上1.75以下であり、 前記中間層は、前記基材側から順に積層された、 中心波長550nmの光に対して屈折率がn1で物理膜厚がd1である第1層と、 中心波長550nmの光に対して屈折率がn2で物理膜厚がd2である第2層と、 中心波長550nmの光に対して屈折率がn3で物理膜厚がd3である第3層と、 中心波長550nmの光に対して屈折率がn4で物理膜厚がd4である第4層と、により構成されており、 以下の条件を満足することを特徴とする反射防止膜。 1.55≦n1≦1.70 1.35≦n2≦1.52 1.85≦n3≦2.40 1.35≦n4≦1.52 10nm≦n1d1≦260nm 10nm≦n2d2≦45nm 5nm≦n3d3≦35nm n4d4≦125nm

IPC (2件)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02

FI (2件)：

G02B1/10 A ,  B32B7/02 103

Fターム (30件)：

2K009AA03 ,  2K009AA12 ,  2K009BB02 ,  2K009BB11 ,  2K009CC03 ,  2K009CC09 ,  2K009DD12 ,  2K009DD15 ,  4F100AA17 ,  4F100AA19E ,  4F100AA20 ,  4F100AT00A ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10E ,  4F100DD07E ,  4F100EH462 ,  4F100EH662 ,  4F100JN18A ,  4F100JN18B ,  4F100JN18C ,  4F100JN18D ,  4F100JN18E ,  4F100JN30 ,  4F100YY00A ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4F100YY00D ,  4F100YY00E