特許

J-GLOBAL ID：201503095664234312

物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体

発明者： 林 和也 ,  竹内 正浩
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-205751
公開番号（公開出願番号）：特開2015-068798
出願日： 2013年09月30日
公開日（公表日）： 2015年04月13日
要約：

【課題】感度のよい物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】物理量センサー1は、受圧により撓み変形するダイヤフラム部64を有する基板6と、ダイヤフラム部64の一方の主面上に設けられた固定電極71と、固定電極71とダイヤフラム部64の中心との間に設けられた支持部721、固定電極71と空隙を隔てて対向配置されている可動部722および可動部722と支持部721とを連結する連結部723を有する可動電極72とを有することを特徴とする物理量センサー。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

受圧により撓み変形するダイヤフラム部と、 前記ダイヤフラム部に設けられている固定電極と、 前記ダイヤフラム部に設けられている支持部、前記固定電極と離間して対向している可動部、および前記可動部と前記支持部とを連結する連結部を有する可動電極と、 前記固定電極は、前記支持部と前記ダイヤフラム部の中心部との間に設けられていることを特徴とする物理量センサー。

IPC (2件)：

G01L 9/00 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

G01L9/00 307 ,  H01L29/84 Z

Fターム (30件)：

2F055AA40 ,  2F055BB01 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE25 ,  2F055FF11 ,  2F055GG11 ,  4M112AA01 ,  4M112BA08 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA11 ,  4M112CA13 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA06 ,  4M112DA09 ,  4M112DA11 ,  4M112DA15 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA05 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA10 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112EA18 ,  4M112FA01 ,  4M112FA11