特許
J-GLOBAL ID：201503096107176551

光学検査に用いられる照明システムおよびそれを用いる検査システム並びに検査方法

発明者：
汪光夏

汪光夏 について

, 
陳輝毓

陳輝毓 について


出願人/特許権者：
牧徳科技股▲ふん▼有限公司

牧徳科技股▲ふん▼有限公司 について


代理人 (1件)： 特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-167443
公開番号（公開出願番号）：特開2015-014582
出願日： 2013年08月12日
公開日（公表日）： 2015年01月22日
要約：
【課題】金属配線に塵埃や他の付着物が付着された場合に、これらの付着物を欠陥と誤って検知することを防ぎ、欠陥の識別正確度を高める。【解決手段】検査対象領域500に正面投光された第一照明光110と検査対象領域に斜め方向投光された二つの第二照明光210と、検査対象領域に対して最も大きな入射角を有する二つの第三照明光310とともに検査対象領域を照射し、第三照明光310は、第一照明光110および第二照明光210よりも短い波長を含み波長帯域の光であり、さらに、カラーラインスキャンカメラ600が、スペクトルの異なる光学画像データを出力して欠陥の検出を行い、取得された混合画像を各スペクトルごとにそれぞれ区分することにより、回路基板上の酸化物および塵埃を判別する。第三照明光310は、光学画像での欠陥を識別する能力を一層強化できるので、システムが検査をする時の誤検知率を低下することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査対象領域に照明光を投光する光学検査に用いられる照明システムであって、 前記検査対象領域の上方から当該検査対象領域に正面投光された第一照明光を発生する第一光源群と、 それぞれ前記検査対象領域の上方から当該検査対象領域に斜め方向投光された二つの第二照明光を発生する第二光源群と、 それぞれ前記検査対象領域の上方から当該検査対象領域に斜め方向投光された二つの第三照明光を発生する第三光源群と、を備え、 前記第三照明光の前記検査対象領域に入射する入射角は、前記第二照明光の入射角よりも大きい角であり、前記第三照明光は、前記第一照明光および前記第二照明光よりも短い波長を含む波長帯域の光であることを特徴とする、光学検査に用いられる照明システム。
IPC (2件)：
G01N 21/84 ,  G01N 21/956
FI (2件)：
G01N21/84 E ,  G01N21/956 B
Fターム (18件)：
2G051AA65 ,  2G051AB07 ,  2G051AC02 ,  2G051BA02 ,  2G051BA04 ,  2G051BA08 ,  2G051BB02 ,  2G051BB03 ,  2G051BB07 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA16 ,  2G051EA17 ,  2G051EC01 ,  2G051ED08 ,  2G051ED11
引用特許：
審査官引用 (8件)
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