特許
J-GLOBAL ID：201503096234579800
ポジ型レジスト組成物、及びレジストパターン形成方法、並びに、メタル層からなるパターンの形成方法、及び貫通電極の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 鈴木 三義
, 五十嵐 光永
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-232187
公開番号（公開出願番号）：特開2015-094775
出願日： 2013年11月08日
公開日（公表日）： 2015年05月18日
要約：
【課題】ポストベークによる形状不良を生じにくいポジ型レジスト組成物の提供。【解決手段】p-クレゾール繰り返し単位(a1)とm-クレゾール繰り返し単位(a2)とを主成分とするノボラック樹脂を含むアルカリ可溶性樹脂成分(A)と、フェノール化合物成分(B)と、感光性成分(C)と、を含有するポジ型レジスト組成物であって、前記ノボラック樹脂は、前記繰り返し単位(a1)と前記繰り返し単位(a2)との混合比率(モル比)が、繰り返し単位(a1)/繰り返し単位(a2)=6/4〜9/1のノボラック樹脂(A1)と、繰り返し単位(a1)/繰り返し単位(a2)=1/9〜4/6のノボラック樹脂(A2)と、を含むことを特徴とするポジ型レジスト組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
p-クレゾール繰り返し単位(a1)とm-クレゾール繰り返し単位(a2)とを主成分とするノボラック樹脂を含むアルカリ可溶性樹脂成分(A)と、フェノール化合物成分(B)と、感光性成分(C)と、を含有するポジ型レジスト組成物であって、
前記ノボラック樹脂は、前記繰り返し単位(a1)と前記繰り返し単位(a2)との混合比率(モル比)が、繰り返し単位(a1)/繰り返し単位(a2)=6/4〜9/1のノボラック樹脂(A1)と、繰り返し単位(a1)/繰り返し単位(a2)=1/9〜4/6のノボラック樹脂(A2)と、を含むことを特徴とするポジ型レジスト組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/023
, G03F 7/004
, H01L 21/027
, C08G 8/12
G03F7/023 511
, G03F7/004 501
, G03F7/004 503Z
, H01L21/30 502R
, C08G8/12
2H125AF03P
, 2H125AM10P
, 2H125AM80P
, 2H125AN14P
, 2H125AN25P
, 2H125AN39P
, 2H125BA01P
, 2H125CA12
, 2H125CB05
, 2H125CC03
, 2H125CC21
, 2H125CD08P
, 2H125CD38
, 4J033CA02
, 4J033CA05
, 4J033CA09
, 4J033CA10
, 4J033CA12
, 4J033CA29
, 4J033CA36
, 4J033CB12
, 4J033CC09
, 4J033CC11
