特許
J-GLOBAL ID：201503096327187635
塗布装置および塗布ヘッドのクリーニング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-172147
公開番号（公開出願番号）：特開2015-039668
出願日： 2013年08月22日
公開日（公表日）： 2015年03月02日
要約：
【課題】短時間に塗布ヘッドのクリーニングが可能であり、また吐出口の部位ごとにワークに供給される塗布液の量に差が発生してしまうことが抑制された塗布装置を提供する。【解決手段】塗布装置1は、塗布ヘッド23と、スキージ41と、塗布ヘッド23とスキージ41とを相対的に移動させる第1駆動機構と、当該第1駆動機構の動作を制御する制御部とを備える。塗布ヘッド23は、塗布液を吐出するスリット状の吐出口が設けられたリップ面を下端に有し、制御部は、塗布ヘッド23をクリーニングするに際し、スキージ41によって塗布ヘッド23から余剰の塗布液が掻き取られることとなるように、リップ面にスキージ41を接触させつつ、吐出口が延在する方向と略直交する方向に向けてスキージ41を移動させるように、第1駆動機構の動作を制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ワークに対して塗布液を塗布する塗布ヘッドと、
前記塗布ヘッドをクリーニングするスキージと、
前記塗布ヘッドと前記スキージとを相対的に移動させる第1駆動機構と、
前記第1駆動機構の動作を制御する制御部とを備え、
前記塗布ヘッドは、塗布液を吐出するスリット状の吐出口が設けられたリップ面を下端に有し、
前記制御部は、前記塗布ヘッドをクリーニングするに際し、前記スキージによって前記塗布ヘッドから余剰の塗布液が掻き取られることとなるように、前記リップ面に前記スキージを接触させつつ、前記吐出口が延在する方向と略直交する方向に向けて前記スキージを移動させるように、前記第1駆動機構の動作を制御する、塗布装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
4F041AA02
, 4F041AB01
, 4F041CA02
, 4F041CA28
, 4F042AA02
, 4F042AB00
, 4F042BA27
, 4F042CC02
, 4F042CC08
, 4F042DF09
, 4F042DH10
