特許

J-GLOBAL ID：201503097626772478

角速度センサ、及び角速度センサを用いた電子機器

発明者： 藤井 剛
出願人/特許権者： パナソニックIPマネジメント株式会社
代理人 (3件)： 藤井 兼太郎 ,  鎌田 健司 ,  前田 浩夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-218083
公開番号（公開出願番号）：特開2015-081771
出願日： 2013年10月21日
公開日（公表日）： 2015年04月27日
要約：

【課題】角速度検出素子からの振動漏れを低減し、静止時の角速度出力や角速度感度の安定した角速度センサを提供する。【解決手段】角速度検出素子101は、基部102と、前記基部102から延出する一対のアーム103a、103bと、前記一対のアーム103a、103bに接続する第1の枠部104と、前記第1の枠部104に2つの接続部105a、105bを介して接続する第2の枠部106と、を有し、前記一対のアーム103a、103bと前記2つの接続部105a、105bとが、同一の軸上に配される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

角速度検出素子を備えた角速度センサであって、 前記角速度検出素子は、 基部と、 前記基部から延出する一対のアームと、 前記一対のアームに接続する第1の枠部と、 前記第1の枠部に2つの接続部を介して接続する第2の枠部と、を有し、 前記一対のアームと前記2つの接続部とが同一の軸上に配される角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/574 ,  H01L 41/113 ,  H01L 41/047

FI (3件)：

G01C19/56 240 ,  H01L41/113 ,  H01L41/047

Fターム (9件)：

2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA06 ,  2F105AA08 ,  2F105BB03 ,  2F105BB04 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06