特許
J-GLOBAL ID:201503097983048435

微粒子検知システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人コスモス特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-171120
公開番号(公開出願番号):特開2015-040738
出願日: 2013年08月21日
公開日(公表日): 2015年03月02日
要約:
【課題】検知精度が低下した状態で検知を行うことを防止し、微粒子の量を精度良く検知することができる微粒子検知システムを提供する。【解決手段】被測定ガスEG中の微粒子の量を検知する微粒子検知システム1は、検知部10、駆動回路210,240、制御部230,202を備える。検知部10は、イオン源11と微粒子帯電部12とを有し、駆動回路210は、イオン源11に供給する気中放電電流Idが、所定の目標電流となるように定電流制御するイオン源駆動回路210を有し、制御部230,202は、イオン源駆動回路210によるイオン源11の作動を開始した後、イオン源駆動回路210が流す気中放電電流Idが、目標電流を含む予め定めた許容範囲内に収束したか否かを判断する電流収束判断手段と、気中放電電流Idが許容範囲内に収束した後に、検知回路230で検知した信号Isを用いた微粒子の量の検知を開始させる検知開始手段とを有する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
通気管内を流通する被測定ガス中の微粒子の量を検知する微粒子検知システムであって、 上記通気管に装着される検知部と、 上記検知部を駆動する駆動回路と、 上記駆動回路を制御し、上記微粒子の量を検知する制御部と、を備え、 上記検知部は、 気中放電でイオンを生成するイオン源と、 上記被測定ガスの一部を上記イオンと混合して、上記被測定ガス中の上記微粒子を上記イオンが付着した帯電微粒子とする微粒子帯電部と、を有し、 上記駆動回路は、 上記イオン源に供給する気中放電電流が、所定の目標電流となるように定電流制御するイオン源駆動回路を有し、 上記制御部は、 上記帯電微粒子の量に応じた信号を検知する検知回路と、 上記イオン源駆動回路による上記イオン源の作動を開始した後、上記イオン源駆動回路が流す上記気中放電電流が、上記目標電流を含む予め定めた許容範囲内に収束したか否かを判断する電流収束判断手段と、 上記気中放電電流が上記許容範囲内に収束した後に、上記信号を用いた上記微粒子の量の検知を開始させる検知開始手段と、を有する 微粒子検知システム。
IPC (2件):
G01N 27/60 ,  G01N 15/06
FI (2件):
G01N27/60 C ,  G01N15/06 D
Fターム (1件):
2G041BA02
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 微粒子検知システム
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2011-106662   出願人:日本特殊陶業株式会社
  • 微粒子センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2011-058626   出願人:日本特殊陶業株式会社
  • 特開昭59-196453
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審査官引用 (4件)
  • 微粒子検知システム
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2011-106662   出願人:日本特殊陶業株式会社
  • 微粒子センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2011-058626   出願人:日本特殊陶業株式会社
  • 特開昭59-196453
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