イオン注入装置、ビーム平行化装置、及びイオン注入方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：森下賢樹 , 村田雄祐 , 三木友由 , 富所輝観夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-177626
公開番号（公開出願番号）：特開2015-046337
出願日： 2013年08月29日
公開日（公表日）： 2015年03月12日
要約：

【課題】広い範囲で使用することのできるイオン注入装置及びイオン注入方法を提供する。【解決手段】イオン注入装置700は、加速レンズ706と、イオンビーム輸送方向に加速レンズ706に隣接して配置されている減速レンズ708と、を備えるビーム平行化部704と、複数のエネルギー設定のうちいずれかのもとでビーム平行化部704を動作させる第3電源部726と、を備える。複数のエネルギー設定は、低エネルギーイオンビームの輸送に適する第1エネルギー設定と、高エネルギーイオンビームの輸送に適する第2エネルギー設定と、を含む。第3電源部726は、第2エネルギー設定において少なくとも加速レンズ706に電位差を発生させ、第1エネルギー設定において少なくとも減速レンズ708に電位差を発生させるよう構成されている。減速レンズ708の湾曲が加速レンズ706の湾曲よりも緩やかである。【選択図】図15

請求項（抜粋）：

加速レンズと、イオンビーム輸送方向に前記加速レンズに隣接して配置されている減速レンズと、を備えるビーム平行化部と、複数のエネルギー設定のうちいずれかのもとで前記ビーム平行化部を動作させる電源部と、を備え、前記複数のエネルギー設定は、低エネルギーイオンビームの輸送に適する第1エネルギー設定と、高エネルギーイオンビームの輸送に適する第2エネルギー設定と、を含み、前記電源部は、前記第2エネルギー設定において少なくとも前記加速レンズに電位差を発生させ、前記第1エネルギー設定において少なくとも前記減速レンズに電位差を発生させるよう構成されており、前記減速レンズの湾曲が前記加速レンズの湾曲よりも緩やかであることを特徴とするイオン注入装置。

IPC (1件)：

H01J 37/317

FI (2件)：

H01J37/317 Z , H01J37/317 A

Fターム (3件)：

5C034CC17 , 5C034CC19 , 5C034CD04

引用特許：

出願人引用 (1件)

イオンビーム用静電レンズ
公報種別：公表公報出願番号：特願2007-522652 出願人：アクセリステクノロジーズインコーポレーテッド

審査官引用 (1件)

イオンビーム用静電レンズ
公報種別：公表公報出願番号：特願2007-522652 出願人：アクセリステクノロジーズインコーポレーテッド

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