特許

J-GLOBAL ID：201503098777622962

電界効果トランジスタの製造方法

発明者： 佐々木 智 ,  舘野 功太 ,  章 国強 ,  原田 裕一
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (3件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹 ,  小池 勇三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-226603
公開番号（公開出願番号）：特開2015-088647
出願日： 2013年10月31日
公開日（公表日）： 2015年05月07日
要約：

【課題】ナノワイヤを用いたFETのゲート長をより短くできるようにする。【解決手段】下部ゲート電極122および被覆ナノワイヤ103を覆う状態に、絶縁層121aの上にネガ型レジスト層124を形成し、ネガ型レジスト層124の上にポジ型レジスト層125を形成し、被覆ナノワイヤ103の両端部のソース・ドレイン形成領域201に、電子線を照射し、ポジ型レジスト層125およびネガ型レジスト層124を同時に露光する。【選択図】 図1G

請求項（抜粋）：

半導体ナノワイヤを形成する工程と、 前記半導体ナノワイヤの側面を覆うナノワイヤ絶縁層を形成して前記ナノワイヤ絶縁層で被覆された被覆ナノワイヤを形成する工程と、 基板の上のゲート電極形成領域の上に下部ゲート電極を形成する工程と、 前記下部ゲート電極の上に前記被覆ナノワイヤを交差させて配置する工程と、 前記下部ゲート電極および前記被覆ナノワイヤを覆って前記基板の上にネガ型の感光性を有するネガ型レジスト層を形成する工程と、 前記ネガ型レジスト層の上に、ポジ型の感光性を有するポジ型レジスト層を形成する工程と、 前記被覆ナノワイヤの両端部を含むソース・ドレイン形成領域の前記ポジ型レジスト層および前記ネガ型レジスト層に露光光を照射し、前記ソース・ドレイン形成領域のポジ型レジスト層は現像により溶解する状態とし、前記ソース・ドレイン形成領域の前記ネガ型レジスト層は、前記ポジ型レジスト層の現像では溶解しない状態の第1絶縁層とする工程と、 露光光が照射された後、前記ポジ型レジスト層を現像して前記ソース・ドレイン形成領域の前記ポジ型レジスト層に開口部を形成する工程と、 前記開口部における前記半導体ナノワイヤ上部の前記第1絶縁層および前記ナノワイヤ絶縁層を除去して前記半導体ナノワイヤを露出させる工程と、 前記開口部に金属材料を堆積することで、前記ナノワイヤ絶縁層を除去することで露出した前記半導体ナノワイヤの両端部に各々接続された前記金属材料よりなるソース電極およびドレイン電極を形成する工程と、 前記ソース電極および前記ドレイン電極の露出している面を酸化して第2絶縁層を形成する工程と、 前記第2絶縁層を形成した後、未露光部分の前記ポジ型レジスト層を除去する工程と、 前記ポジ型レジスト層を除去した後、前記ネガ型レジスト層を現像する工程と、 前記ネガ型レジスト層を現像処理した後、前記被覆ナノワイヤに交差して前記ソース電極および前記ドレイン電極の形成領域にオーバーラップする上部ゲート電極を形成する工程と を備えることを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法。

IPC (10件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/20 ,  H01L 29/41 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 29/417 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/027

FI (12件)：

H01L29/78 618C ,  H01L29/78 627C ,  H01L29/78 617K ,  H01L29/78 618A ,  H01L21/20 ,  H01L29/44 L ,  H01L29/58 G ,  H01L29/50 M ,  H01L21/28 301B ,  H01L21/28 301R ,  H01L21/90 P ,  H01L21/30 573

Fターム (71件)：

4M104AA04 ,  4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB09 ,  4M104BB14 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD02 ,  4M104DD08 ,  4M104DD16 ,  4M104DD34 ,  4M104DD62 ,  4M104DD68 ,  4M104EE03 ,  4M104EE16 ,  4M104FF01 ,  4M104FF13 ,  4M104GG08 ,  5F033GG02 ,  5F033HH08 ,  5F033HH13 ,  5F033HH18 ,  5F033MM05 ,  5F033PP19 ,  5F033QQ01 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ41 ,  5F033QQ54 ,  5F033QQ98 ,  5F033RR04 ,  5F033RR09 ,  5F033SS08 ,  5F033SS22 ,  5F033TT02 ,  5F033VV06 ,  5F033XX03 ,  5F110AA04 ,  5F110BB03 ,  5F110CC10 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110EE02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE43 ,  5F110FF01 ,  5F110FF22 ,  5F110GG01 ,  5F110GG04 ,  5F110GG22 ,  5F110GG25 ,  5F110GG42 ,  5F110HK03 ,  5F110HK21 ,  5F110HK32 ,  5F110NN03 ,  5F110NN23 ,  5F110NN33 ,  5F110QQ01 ,  5F110QQ14 ,  5F110QQ16 ,  5F110QQ19 ,  5F146NA02 ,  5F146NA14 ,  5F152LL12 ,  5F152LN32 ,  5F152NN06 ,  5F152NP13 ,  5F152NP17 ,  5F152NQ05 ,  5F152NQ20