特許

J-GLOBAL ID：201503099026426161

基板処理装置および基板処理方法

発明者： 三宅 透
出願人/特許権者： NTN株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-258185
公開番号（公開出願番号）：特開2015-115528
出願日： 2013年12月13日
公開日（公表日）： 2015年06月22日
要約：

【課題】高い位置決め精度を得られるとともに低コストな基板処理装置および基板処理方法を提供する。【解決手段】基板処理装置では、基板1を搭載する搭載面を有する保持台4と、第1押圧部材6b、第2押圧部材6a、第1基準部材5a、第2基準部材5c、押圧部材移動部8a、8b、第1基準部材移動部aを備える。第1押圧部材6bおよび第1基準部材5aは、保持台4に搭載された基板1を、搭載面に沿った第1の方向から挟むように配置される。第2押圧部材6aおよび第2基準部材5cは、保持台4に搭載された上記基板1を、第1の方向と交差するとともに搭載面に沿う第2の方向から挟むように配置される。押圧部材移動部8a、8bは、第1押圧部材6bおよび第2押圧部材6aをそれぞれ第1基準部材5a側および第2基準部材5c側へ移動させる。第1基準部材移動部7aは、第1基準部材5aを移動させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を搭載する搭載面を有する保持台と、 前記保持台に搭載された前記基板を、前記搭載面に沿った第1の方向から挟むように配置された第1押圧部材および第1基準部材と、 前記保持台に搭載された前記基板を、前記第1の方向と交差するとともに前記搭載面に沿う第2の方向から挟むように配置された第2押圧部材および第2基準部材と、 前記第1押圧部材および前記第2押圧部材をそれぞれ前記第1基準部材側および前記第2基準部材側へ移動させるための押圧部材移動部と、 前記第1基準部材を移動させるための第1基準部材移動部とを備える、基板処理装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  G02F 1/13 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/02

FI (6件)：

H01L21/68 F ,  G02F1/13 101 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/14 Z ,  H05B33/02

Fターム (31件)：

2H088FA11 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  3K107AA01 ,  3K107AA05 ,  3K107CC42 ,  3K107CC45 ,  3K107DD11 ,  3K107GG28 ,  3K107GG54 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131CA02 ,  5F131CA18 ,  5F131CA22 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DC12 ,  5F131FA13 ,  5F131FA26 ,  5F131KA14 ,  5F131KA44 ,  5F131KA47 ,  5F131KB07 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32 ,  5F131KB53