特許
J-GLOBAL ID:201503099458618975
多重反射質量分析計
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (7件):
辻居 幸一
, 熊倉 禎男
, 弟子丸 健
, 井野 砂里
, 松下 満
, 倉澤 伊知郎
, 山本 泰史
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-553679
公開番号(公開出願番号):特表2015-506566
出願日: 2013年01月22日
公開日(公表日): 2015年03月02日
要約:
2つのイオン光学ミラーを備え、各ミラーはドリフト方向(Y)に概して沿って細長く、X方向において各ミラーが他方のミラーに対向し、X方向がYに直交する多重反射質量分析計であって、ミラーが、ドリフト方向でのミラーの長さの少なくとも一部に沿って、X方向において互いから一定距離の箇所にないことを特徴とする、多重反射質量分析計が提供される。通常、ミラーは、陰イオン注入器から離れてドリフト方向に延びるにつれ、ミラーの長さの少なくとも一部に沿って、X方向において互いに近くなる。使用中、イオンは、ドリフト方向に沿ってドリフトしながら、一方の対向ミラーから他方に複数回反射されて、質量分析計内で概してジグザグ経路を辿る。ドリフト方向に沿ったイオンの運動は、イオンに方向を逆にさせるドリフト方向でのミラーの長さの少なくとも一部に沿った互いからのミラーの距離が非一定であることから生じる電場で対抗される。【選択図】図3
請求項(抜粋):
各ミラーがドリフト方向(Y)に沿って概して細長く、X方向において各ミラーが他方のミラーに対向し、前記X方向がYに直交する、2つのイオン光学ミラーを備える多重反射質量分析計において、
前記ミラーが、前記ドリフト方向での前記ミラーの長さの少なくとも一部に沿って、前記X方向において互いから一定距離の箇所にないことを特徴とする、多重反射質量分析計。
IPC (3件):
H01J 49/06
, H01J 49/40
, G01N 27/62
FI (3件):
H01J49/06
, H01J49/40
, G01N27/62 E
Fターム (9件):
2G041CA01
, 2G041GA07
, 2G041GA08
, 2G041GA10
, 2G041GA11
, 2G041GA24
, 2G041GA29
, 2G041KA01
, 5C038FF13
引用特許:
前のページに戻る