特許

J-GLOBAL ID：201503099759640453

感光性樹脂組成物

発明者： 佐々木 由香
出願人/特許権者： 旭化成イーマテリアルズ株式会社
代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  中村 和広 ,  齋藤 都子 ,  三間 俊介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-201750
公開番号（公開出願番号）：特開2015-068930
出願日： 2013年09月27日
公開日（公表日）： 2015年04月13日
要約：

【課題】金属酸化物を高充填し、アルカリ現像液を用いて、高解像にビアを形成可能であり、かつ、現像装置内に堆積物を生じない感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】感光性樹脂組成物中の全固形分100質量部に対して、以下の: (A)一次粒径が0.04μm〜1.00μmの無機粒子:40質量部〜80質量部、 (B)光重合可能な不飽和結合基、及びカルボキシル基、及び/又は酸無水物基を含む化合物:5質量部〜60質量部、並びに (C)光重合開始剤:0.01質量部〜10.0質量部、を含む感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

感光性樹脂組成物中の全固形分100質量部に対して、以下の: (A)一次粒径が0.04μm〜1.00μmの無機粒子:40質量部〜80質量部、 (B)光重合可能な不飽和結合基、及びカルボキシル基、及び/又は酸無水物基を含む化合物:5質量部〜60質量部、並びに (C)光重合開始剤:0.01質量部〜10.0質量部、 を含む感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/075 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F7/075 511 ,  G03F7/075 501 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (17件)：

2H125AC31 ,  2H125AC34 ,  2H125AC72 ,  2H125AC78 ,  2H125AD07 ,  2H125AP11P ,  2H125BA05P ,  2H125BA20P ,  2H125CA12 ,  2H125CB06 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD06P ,  2H125CD08P ,  2H125CD29P ,  2H125CD34 ,  2H125CD40