特許

J-GLOBAL ID：201503099939933653

薄膜トランジスタ装置とその製造方法、有機EL表示素子、および有機EL表示装置

発明者： 奥本 有子 ,  宮本 明人 ,  受田 高明
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (8件)： 特許業務法人 ナカジマ知的財産綜合事務所 ,  中島 司朗 ,  小林 国人 ,  川畑 孝二 ,  木村 公一 ,  土田 幸雄 ,  中島 安洋 ,  小林 義周
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012005995
公開番号（公開出願番号）：WO2013-073086
出願日： 2012年09月21日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
要約：

隔壁の囲繞により構成された第1および第2開口部内には、それぞれ薄膜トランジスタ素子が形成されている。隔壁には、第1開口部に対して間隔をあけた状態で隣接し、且つ、第2開口部が隣接する側とは異なる側に、第3開口部が設けられている。ここで、第1開口部の底部を平面視する場合、当該第1開口部内の親液層の表面積の中心位置が、底部における面積の中心位置よりも、第3開口部が隣接する側とは異なる側に離れており、また、第1開口部の底部と第2開口部の底部を平面視する場合、第1開口部および第2開口部の一方では、その底部の親液層の表面積の中心位置が、当該開口部の底部における面積の中心位置よりも、他方の開口部が隣接する側とは異なる側に離れている。

請求項（抜粋）：

互いに間隔をあけた状態で隣接配置された第1および第2の薄膜トランジスタ素子を備え、 各薄膜トランジスタ素子が、 ゲート電極と、 前記ゲート電極の上方に積層形成され、積層方向に対して交差する方向に互いに間隔をあけて並設されたソース電極およびドレイン電極と、 前記ゲート電極と前記ソース電極および前記ドレイン電極との間に介挿された絶縁層と、 前記ソース電極と前記ドレイン電極との間の間隙、および前記ソース電極および前記ドレイン電極の上に形成され、前記ソース電極および前記ドレイン電極に対して密に接する半導体層と、 前記絶縁層上において、前記ソース電極および前記ドレイン電極とは別に形成され、前記絶縁層よりも高い親液性を有する親液層と、 を備え、 前記第1の薄膜トランジスタ素子における前記半導体層と、前記第2の薄膜トランジスタ素子における前記半導体層との間には、互いの間を区画する隔壁が形成されており、 前記隔壁は、前記第1の薄膜トランジスタ素子における前記ソース電極および前記ドレイン電極および前記親液層の各々の少なくとも一部と、第2の薄膜トランジスタ素子における前記ソース電極および前記ドレイン電極および前記親液層の各々の少なくとも一部とを別々に囲繞し、且つ、表面が撥液性を有しており、 前記第1の薄膜トランジスタ素子における前記ソース電極および前記ドレイン電極および前記親液層の各々の少なくとも一部を囲繞することで構成される開口部を第1開口部とし、前記第2の薄膜トランジスタ素子における前記ソース電極および前記ドレイン電極および前記親液層の各々の少なくとも一部を囲繞することで構成される開口部を第2開口部とするとき、 前記隔壁には、前記第1開口部に対して間隔をあけた状態で隣接し、且つ、前記第2開口部が隣接する側とは異なる側に、第3開口部が設けられており、 前記第3開口部は、その内部に半導体層が形成されておらず、チャネル部として機能する部分ではなく、 前記第1開口部の底部を平面視する場合において、当該第1開口部内の前記親液層の表面積の中心位置が、前記第1開口部の底部における面積の中心位置よりも、前記第3開口部が隣接する側とは異なる側に離れており、 前記第1開口部の底部と前記第2開口部の底部を平面視する場合において、前記第1開口部および前記第2開口部の一方では、その底部の前記親液層の表面積の中心位置が、当該開口部の底部における面積の中心位置よりも、他方の開口部が隣接する側とは異なる側に離れている ことを特徴とする薄膜トランジスタ装置。

IPC (5件)：

H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/22

FI (4件)：

H01L29/78 627C ,  H05B33/14 A ,  H05B33/12 B ,  H05B33/22 Z

Fターム (40件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC35 ,  3K107CC45 ,  3K107DD89 ,  3K107EE03 ,  3K107FF15 ,  3K107GG06 ,  5F110AA26 ,  5F110BB02 ,  5F110CC03 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF36 ,  5F110GG01 ,  5F110GG05 ,  5F110GG42 ,  5F110GG57 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HL14 ,  5F110HM04 ,  5F110NN03 ,  5F110NN27