特許

J-GLOBAL ID：201503099965019013

振動素子、振動子、電子機器および移動体

発明者： 山口 啓一 ,  菊池 尊行
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-224758
公開番号（公開出願番号）：特開2015-087188
出願日： 2013年10月29日
公開日（公表日）： 2015年05月07日
要約：

【課題】優れた耐衝撃性を有する振動素子および振動子を提供する、また、かかる振動素子を備える信頼性に優れた電子機器および移動体を提供する。【解決手段】基部21と、基部21から延出している連結腕231、232と、連結腕231から延出している駆動腕241、242と、連結腕232から延出している駆動腕243、244とを備え、基部21が梁261、262、263、264によって第1、第2固定部251、252に支持されている。各梁261、262、263、264は、X軸方向に沿って往復しながらY軸方向に沿って延びる蛇行部(S字形状部)を有しており、X軸方向およびY軸方向に弾性を有している。各梁261、262、263、264は、駆動腕241、242、243、244の振動範囲を制限する機能を有する「制限部」を構成している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基部と、 前記基部から延出している連結腕と、 前記連結腕から延出している振動腕と、 前記振動腕の第1部位に接触することで、前記振動腕の振動範囲を第1範囲に制限する第1制限部と、 前記振動腕の前記第1部位とは異なる第2部位に接触することで、前記振動腕の振動範囲を前記第1範囲よりも広い第2範囲に制限する第2制限部と、を備えることを特徴とする振動素子。

IPC (3件)：

G01C 19/562 ,  H01L 41/113 ,  H01L 41/053

FI (3件)：

G01C19/56 128 ,  H01L41/113 ,  H01L41/053

Fターム (9件)：

2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA06 ,  2F105AA08 ,  2F105BB12 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13