上柿順一

ウエガキジュンイチ | Uegaki Jun'ichi

所属機関・部署：

研究分野 (3件)：原子力工学 , 量子ビーム科学 , プラズマ科学

研究キーワード (6件)：原子核物理学 , 電子ビーム描画装置 , イオンビーム照射装置 , 集束イオンビーム加工装置 , プラズマエッチング装置 , ナノ・インデンテーション・テスター

競争的資金等の研究課題 (2件)：

論文 (30件)：

MISC (13件)：

阿部康之, 佐藤智也, 芳賀昭, 山崎慶太, 加藤和夫, 佐久間征彦, 上柿順一. EB装置内部におけるアクティブ磁気シールドの遮蔽効果. 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan. 2003. 27. 311-311
山崎慶太, 加藤和夫, 足穂孝平, 宇田敬史, 平岡慎太郎, 藤原耕二, 高橋則雄, 佐藤智也, 芳賀昭, 上柿順一, et al. 電子線描画装置に適したアクティブ磁気シールドの検討. 電気学会研究会資料. MAG, マグネティックス研究会. 2002. 2002. 184. 53-59
上柿順一. ナノ電子ビーム描画装置とその応用技術. 日本学術振興会荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会第2回ナノビームテクノロジーシンポジウム技術研究会資料( 2001年12月13~14日)p.39. 2002. 39
J.Uegaki. Performance of a Compact ECR Ion Source. Proc. 12th Symp. On ISIAT’89, Tokyo (1989). 1989. 95
植田暁彦, 西林良樹, 池田和寛, 辰巳夏生, 今井貴浩, 上柿順一, 布川博, 土田智之, 小若裕則, 本目精吾, et al. ダイヤモンド電子源の開発とその応用. (独)日本学術振興会真空ナノエレクトロニクス第158委員会第83回研究会資料(2010年6月24日)

講演・口頭発表等 (6件)：

磁性流体研磨剤を使用した切削時同時研磨の試み
(第26回テクニスト研究会 2015)
反射鏡による太陽光熱収集の試み
(理研シンポジウム「明るい未来の光熱エネルギー」 2015)
電子ビーム描画装置の紹介とその技術継承に関する雑感
(第5回技術継承フォーラム「ものづくり技能継承の現状と展望」 2013)
Nano scale Fabrication by using Focused Ion Beam Milling System
(The Third International Conference on nano Manufacturing 2012)
集束イオンビームを利用した超微細加工装置と加工例
(第42回マイクロ加工懇談会マイクロ加工研究会 2012)

学歴 (3件)：

学位 (1件)：

経歴 (10件)：

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受賞 (1件)：

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上柿 順一