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J-GLOBAL ID:201602000018020847 整理番号:58A0061994
拡散法処理のけい素のライフタイムの保護
Technique for Preserving Lifetime in Diffused Sili-con.
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資料名:
J Electrochem Soc (Journal of the Electrochemical Society)
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巻:
105
号:
10
ページ:
591-594
発行年:
1958年
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
0013-4651
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
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けい素結晶を作って拡散処理する副に適当なゲッタがけい素片の表面に形成されるようにする。固液相けい素の処理法でも,またニッケル,銀,ビスマスによってもゲッタ層が得られる
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