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J-GLOBAL ID：201602000035912085   整理番号：71A0046211

Siビジコンの格子欠陥と輝点との相関

著者 (3件)： SHIRAKI H ,  MATSUI J ,  KAWAMURA T
資料名： Proc Conf Solid State Dev  (Proceedings of the Conference on Solid State Devices)
巻： 1970  ページ： 61-66  発行年： 1970年 
JST資料番号： S0652A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二・チング法,電子顕微鏡.X線トポグラフィによって,Siピジコンの像中に現われる輝点や輝線の原因となる格子欠陥の構造を調べた。その結果積層欠陥や転位ループが輝点の原因であることが分った。このような欠陥はSi中の酸素原子の著しい不均0性,酸化の過程で導入される機械的ひずみによる転位網の集合体,高濃度のBの深い拡散等によってひき起されると思われる;写図11参10

シソーラス用語： ビジコン ,  格子欠陥
準シソーラス用語： シリコン ,  輝点

タイトルに関連する用語 (5件)： Si ,  ビジコン ,  格子欠陥 ,  輝点 ,  相関