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J-GLOBAL ID:201602000061526819   整理番号:70A0143694

イオンマイクロプロープ質量分析による銅中の酸素の定量

Ion microprobe mass spectrometric determination of oxygen in copper.
著者 (1件):
資料名:
巻: 42  号: 11  ページ: 1130-1132  発行年: 1970年 
JST資料番号: A0395A  ISSN: 0003-2700  CODEN: ANCHAM  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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金属中の酸素の定量に対して,試料量が少ないときゃ表面の成分こう配を必要とするときは従来の放射化分析,不活性ガス溶融,真空溶融などの方法は適当ではない。ここでは銅マトリックス中の酸素の定量に新しい方法を提案。ターゲット室の低圧維持(<1×10<sup>-6</sup>Torr)と表面清浄に注意すれば酸素ブランク3~5ppmWとすることができる。<sup>16</sup>O/<sup>63</sup>Cuと酸素間の検量線を20-2300ppmで作製。100ppm以上で標準偏差率は20-25%。また,300-350μの分解能で表面の酸素こう配を定量した。深さ方向のこう配についても検討;写図2表1参10
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