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J-GLOBAL ID:201602000088668496   整理番号:71A0359330

中性子照射されたシリコンP+n接合の空間電荷領域

The space-charge region of neutron-irradiated silicon p+n junctions.
著者 (1件):
資料名:
巻: 17  号:ページ: 341-347  発行年: 1970年 
JST資料番号: C0235A  ISSN: 0018-9499  CODEN: IETNAE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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中性子照射量を関数としてP+n接合の高振動の容量,電位特性を説明できるモデルを作り空間電荷領域の解釈と設計に役立たせるためこの研究を行った。P+n接合の中性子照射によるCV特性は線量の減少にともなって減少する2ステップ関数であるが線量が多くなると電圧には無関係となる。空間電荷領域の幅は線量とともに増加しその変化量は印加電圧やバイアスには無関係である。試料はほう素拡散のダイオードのバルクとエピタクシャルを用いた。理論的にはポアソンの式に上記の特性を考慮に入れた仮定のもとで解き,トラップ,ドナーならびにトラップのエネルギーを求め,空間電荷領域の幅を決定する。この計算例としてトラップが1つと2つの場合に適用し幅の変化量を求ている。以上の計算から空間電荷領域の幅の増加量はトラップのエネルギー準位と密度とに依存するがドナーの密度にはあまり影響されない。またこれらの発生率はバルクでNd=5x1014cm-3に対し0.95cm-1,エピタクシャルでNd=5x1014cm-3で0.64cm-1であってEc-0.4eV,Ec-0.58eVの準位のダイベイカンシイがあるとした方が実験とよく一致することからダイベイカンシイ欠陥の存在が考えられる
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