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J-GLOBAL ID：201602000111017252   整理番号：64A0015837

凝縮ベリリウム膜の研究

Исследование конденсированных пленок бериллия.

著者 (2件)： ПАЛАТНИК Л С ,  ФЕЩОРЕНКО А И
資料名： Fiz Met Metalloved  (Fizika Metallov i Metallovedenie)
巻： 18  号： 1  ページ： 69-72  発行年： 1964年 
JST資料番号： R0032A  ISSN： 0015-3230  CODEN： FMMTA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 旧ソビエト連邦 (SUN) 

抄録/ポイント： 純度99.987%のBeを5×10^-5mmHg中でNaCl上に蒸着させ,蒸着膜の割れる傾向に対する下地の温度T,蒸着速度tおよび膜厚tの影響について研究した。T20~200°C,t0.5~140Å/B,t1.0~50μの範囲で調べ,割れの発生する臨界温度Tcを求めた。t0.2~0.3μでほ2Å/Bで蒸発させてもいずれの温度でも割れが発生する。t~1μではt=0.5~140Å/BでTc=100~150°Cである。tがさらに厚ければ常温で蒸着させても割れは発生しない。下地の温度がTcよりも20~30°C高ければ良好な蒸着膜が得られる;写3図1参7

タイトルに関連する用語 (3件)： 凝縮 ,  ベリリウム ,  研究