抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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デプレッション形NチャネルMOSトランジスタの特性はチャネルにそった実効移動度が一定であると考えた特性とはかなりずれている。 実測結果ではドレーン誘起電界の作用によってドレーン方向に移動度が減少していることがわかった。移動度の電界依存性から定速度を仮定し.いろいろなドレーン電圧に対する表示式を導いた。 チャネルにそって電圧測定ができる特殊な構造のデバイスを作り.ドレーン特性,飽和点,チャネルにそった電位分布を測定し,実測結果は移動度が一定とするモデルよりも移動度がドレーン電界に依存すると考えたモデルの方によく合致することを示した;写図8参16