抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ICマスクその他のきわめて小さい図形を光学的に作るためのレンズについてノモグラフを示した。微小な図形を作るには狭い光束を用いて所定の縮小率で1/100in以内の精度で焦点を結ばせる必要がある。近年のレンズは特定の縮小率の場合に解像力200本/mmという高い性能を示すよう設計されている。ここに示したノモグラフは最高の解像力が得られるようなレンズ使用条件を簡単に求められるもので,レンズの焦点距離,コピーの距離の関係を示す;写図1