抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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過圧に対して真空装置を保護するための改良型バルブを製作した。その構造を詳細に示した。使用材料はステンレス鋼,PTFEおよびネオプレーンである。10’5--760Torrの範囲において0.8~4.OTorrの過圧以上で動作する。リークは10”STorr・1・s→「以下であった;写図1