抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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半導体技術と膜技術を組み合わせて作る集積回路を意味するハゲリッドIC(混成集積回路)について,その定義,歴史および分類を編した。ハイブリッドICは,その膜の製造方法や膜厚によって厚膜ICと薄膜ICとに分けられる。その応用分野としては.周波数の高い号野,高性能を要求される分野,高耐圧・大電力を要求される分野督る;写図2表2参9