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J-GLOBAL ID：201602000385015795   整理番号：72A0023739

Auger電子分光と出現電位分光による表面化学分析:比較

Surface chemical analysis by Auger electron spectroscopy and appearance potential spectroscopy: A comparison.

著者 (1件)： TRACY J C
資料名： Appl Phys Lett  (Applied Physics Letters)
巻： 19  号： 9  ページ： 353-356  発行年： 1971年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： T膜上のS.C.Oの検出について両分光法を直接比較した結果Auger電子分光の方が優れた感度を示した。Cr,Ti,Fe,Niについては出現電位分光も同程度の感度を示すが,Cu,AgGaAsの検出は出来ない:写図1表1参5

シソーラス用語： Auger効果
準シソーラス用語： AUger電子分光 ,  出現電位分光 ,  表面化学分析

タイトルに関連する用語 (4件)： Auger電子分光 ,  出現電位分光 ,  表面化学 ,  分析