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J-GLOBAL ID：201602000566403150   整理番号：58A0069044

水晶にアルミニウム電極を蒸着する自動装置

Special Evaporation Plater.
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著者 (1件)：
DONNICCI K L

DONNICCI K L について


資料名：
Automation (Clevel)  (Automation (Cleveland))

Automation (Clevel) について


巻： 5  号： 11  ページ： 72-74  発行年： 1958年 
JST資料番号： A0502A  ISSN： 0005-1160  CODEN： ATMNA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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直径0.375あるいは0.490inの水晶円板に厚さ0.004-0.016inの薄いアルミニウムを真空蒸着する装置で,その主な部分は(1)蒸着する部分だけを露出する支持装置,(2)支持,回転機構をもつ真空室とアルミニウムの貯蔵,供給用ホッパ,(3)アルミニウムを溶融,蒸着するに必要な熱の発生機,(4)大気圧から200μHgまで落す真空ポンプ,(5)蒸着室内の圧力を0.3μHgまで落す拡散型真空ポンプ,(6)蒸着工程の制御回路
分類 (1件)：
分類
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(YC040309)
タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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水晶

水晶 について

, 
アルミニウム電極

アルミニウム電極 について

, 
蒸着

蒸着 について


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